真空科學與技術學報雜志基礎信息：

《真空科學與技術學報》由中國真空學會主辦,是中國科學技術協會審定的國家級自然科學技術刊物,雙月刊,國內外公開發行。本刊論文被EI、CA、SA和INSPEC等國際著名檢索系統收錄。我國的香港與臺灣地區均有訂閱，有一定的影響力。在國內各高等院校科學院所涉及到真空科學與技術論文都大多數向本刊投稿，已成為國內外關學者發表高水平科研成果的主要載體。

真空科學與技術學報雜志欄目設置：

《真空科學與技術學報》刊載的論文的內容主要涉及如下學科:真空科學與技術、薄膜物理與工藝、表面及界面物理、應用表面科學、物理電子學、電子材料與處理、納米科學與技術、電真空技術、核真空技術及真空冶金等。本刊歡迎上述學科領域內的科研論文、研究報告、工藝研究、動態綜述、工業技術等稿件,對于開創性的發明、發現等新成果,將優先發表。

真空科學與技術學報雜志訂閱方式：

ISSN：1672-7126、CN：11-5177/TB、出版地：北京市。

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真空科學與技術學報雜志社投稿信息

1.文稿務必立論明確,論證嚴謹,數據可靠,文字精練。特約稿、綜述論文一般8000字以內,學術論文6000字以內,技術交流4000字以內,科技簡訊2000字以內,來稿請填好中圖分類號。

2.文稿要求用A4紙單面1.5倍行間距,小四號字打印,一式兩份。來稿時,請附上作者中聯系人、聯系電話和電子信箱地址。如可能,請附寄磁盤。

3.稿件請按本刊格式整理,除正文以外,要同時給出中、英文的篇名、作者姓名和工作單位、論文摘要300字左右、關鍵詞4～6個,參見“關于在學術論文中規范關鍵詞選擇的決定”。

真空科學與技術學報雜志社編輯部征稿后柵型場發射顯示器竄壓現象的研究94GHzTE02模回旋管Vlasov模式變換器的設計與模擬非晶Ni-Al-N薄膜用作Cu互連阻擋層的研究改進2.5維多頻大信號互作用程序模擬螺旋線行波管非線性交調互調特性氦質譜檢漏儀入口壓力與顯示值的關系研究HT-7托卡馬克中破裂等離子體放電對器壁放氣的影響真空卷繞鍍膜機開卷張力控制系統研究基于有限元的單軸雙銷鉸鏈式大門機構變形分析原子層沉積系統設計的研究摻硅類金剛石膜的摩擦學性能研究直管磁過濾弧離子鍍CrN涂層改善304不銹鋼表面性能研究磁場對電弧離子鍍深管內壁沉積TiN薄膜的影響激光熱處理對類金剛石薄膜結構的影響納米金紅石相TiO2的制備及其介電性能實驗研究a-SiNx∶H薄膜退火前后微結構的Raman譜研究非晶FeSiB薄膜中的巨磁阻抗效應等離子體氣相沉積非晶SiO2薄膜的特性研究直流反應磁控濺射制備二氧化鈦薄膜的光催化性研究彩色等離子體顯示器放電氣體的研究雙峰式顯示管的特點及電路設計俄歇電子全息的計算機模擬研究和數值重現CVD金剛石薄膜拋光技術的研究進展定容式氣體微流量標準裝置用離子束輔助沉積和計算機控制系統制備納米薄膜復合材料IBADMoS2-Ta復合膜的氧化行為研究真空蒸發沉積聚苯胺晶態薄膜的研究射頻激勵CO2波導激光器的放電技術紅外用超薄PtSi膜的一種制備新方法電渦流法檢測罐頭真空度的探頭研制和儀器智能化共面雙柵極金剛石薄膜FEAs的計算機模擬橫向巨磁阻抗效應中磁導率張量的理論研究電源對介質阻擋放電(DBD)激發準分子(XeCl*)輻射的有限元法在42英寸多槍彩色顯像管玻殼設計中的應用β-FeSi2和β-Fe(C,Si)2薄膜的電子顯微及X射線衍射研究薄膜場發射陰極中納米線密度的理論優化MoS2基板上外延生長C60薄膜的分子動力學模擬系統級模擬的MEMS器件宏模型電子回旋共振等離子體用于聚四氟乙烯材料表面改性利用脈沖調制電子探束測量電子誘導脫附閾值能量射頻輝光放電等離子體化學氣相沉積類金剛石膜的性能研究微波ECR等離子體刻蝕系統微光像增強器信噪比測試技術研究鉬酸鉛晶體表面紅外增透膜的研究